耐用可靠VIEW Precis 200 全新的Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来,采用了VMM 公司好的设计和技术。, 新款Precis 包含了很多可配置选项,使设备更加通用,耐用以及可靠。扩展了Z轴范围2.5mm, 5mm or 100mm标准可选X,Y,Z行程(mm):200 x 200 x 5 载重: 12 kgXY精度:E1=(0.25+2L/1000)umZ 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)分辨率:0.01 微米视场测量精度和重复性:0