全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司好的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。
扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
标准 可选
X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 载重: 12 kg
XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
分辨率： 0.01 微米
视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x)
直流伺服马达驱动
