超高精度的尺寸测量系统
VIEW Pinnacle+Plus将Pinnacle的性能提升到了下一个等级Pinnacle+Plus拥有坚硬的花岗岩支撑结构和高性能的Z轴移动组件,使测量微电子零件和组件时产生尽可能低的不确定性.最先进的线性马达控制技术造就了运行速度最快,最为可靠的免维护平台,满足了从无尘室到工厂车间的生产环境中,大容量,高性能的操作。特征:X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50X,Y,Z光栅尺分辨率:XY - 0.05m,零膨胀材料,Z - 0.01m,零膨胀材料平台驱动系统:无摩