◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴ju jiao范围:25 mm
◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;
◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上<0.010um(1δ);
掩模板上0.005um(1δ);
◆ 最大承重:2kg
◆ 标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X